中国古代专制主义中央集权制度趋至巅峰的标志是
A. 废丞相权归六部
B. 设立内阁
C. 设置军机处
D. 大兴文字狱

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答案：C

解析：AB是在明朝，D是在清朝初年，都有利于专制主义中央集权的强化，但没有达到顶峰，排除；清朝雍正帝时设立军机处，军机大臣只是跪受笔录，军政大权完全集中于皇帝手中，君主专制达到顶峰，故选C。